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產(chǎn)品詳細頁(yè)
濃度計
- 產(chǎn)品型號：CM-200/210
- 更新時(shí)間：2024-03-17
- 產(chǎn)品介紹：實(shí)時(shí)顯示半導體制造工藝中的濃度為監測半導體制造工藝中濃度而開(kāi)發(fā)出來(lái)的高精度濃度計。該設備通過(guò)采用電磁感應導電率計測量并實(shí)時(shí)顯示濃度。適用于使用的制造工藝，例如：清洗蝕刻后的晶片。
- 在線(xiàn)留言 86-21-54933058/54933060/54933358/54182486/28097339
產(chǎn)品介紹
特點(diǎn)
實(shí)時(shí)顯示濃度
可以通過(guò)導電率傳感器檢測濃度，通過(guò)<導電率>-<氟酸濃度>的檢量線(xiàn)，自動(dòng)地實(shí)時(shí)顯示氟酸濃度。
實(shí)現了半導體制造工藝中低濃度范圍的高精度
產(chǎn)品幾乎覆蓋了半導體制造工藝中所使用的溶液的量程(0-1/2/5/10/20wt%)。即使在0-1wt%的低濃度量程中，也實(shí)現了±2%F.S.以?xún)鹊脑佻F精度。適合于要求低濃度范圍控制的存儲器生產(chǎn)線(xiàn)中發(fā)揮出威力。
確保穩定檢測的傳感器
沉浸型傳感器已經(jīng)被PFA樹(shù)脂模塊化，所以不會(huì )因溶液而發(fā)生金屬腐蝕現象。并且，金屬等不純物不會(huì )溶入到樣品溶液中，因此可以對其進(jìn)行穩定的檢測。
裝有報警功能
為了實(shí)現更加可靠的工藝管理，分別具有濃度輸出以及濃度上限?濃度上上限?濃度下限?濃度下下限的報警輸出功能。
可以用于多用途
采用小巧的DIN96尺寸的轉換器。小型?輕便，適于組裝到氟酸的稀釋裝置、供給裝置、晶片的清洗裝置中。并且，具有浸沒(méi)到液體中的沉浸型傳感器(CM-200)和設置在工藝配管中的流通形傳感器(CM-210)。您可以根據用途選擇。
測量原理
2個(gè)環(huán)狀螺線(xiàn)管(T1是通過(guò)交流電的勵磁變壓器、T2是檢測變壓器)被模塊化于傳感器的塑料外殼內部。當傳感器沉浸在溶液中時(shí)，溶液將在2個(gè)環(huán)狀螺線(xiàn)管之間產(chǎn)生一個(gè)閉合回路。如果環(huán)狀螺線(xiàn)管T1的線(xiàn)圈中通過(guò)一恒定的交流電流，則會(huì )在磁圈中產(chǎn)生一恒定的磁場(chǎng)，依照樣品的導電率電流i流過(guò)樣品溶液。根據電流i環(huán)狀螺線(xiàn)管T2中將會(huì )產(chǎn)生相應的磁場(chǎng)，并且在T2的線(xiàn)圈中將會(huì )產(chǎn)生感應電動(dòng)勢。由于感應電動(dòng)勢e(電壓)與樣品的電導率呈比例關(guān)系，通過(guò)測量e可得知電導率值。這樣經(jīng)過(guò)檢測的導電率和濃度存在高的關(guān)聯(lián)性，可以根據預已知的參考曲線(xiàn)計算得出并顯示濃度。
規格
測量原理 | 電磁感應導電率檢測方式 |
檢測對象 | 水+溶液 |
量程 | 0?1/2/5/10/20HFwt%(請您在訂貨時(shí)) |
再現性 | ±2% F.S |
響應時(shí)間 | 90%響應5秒以?xún)?恒溫條件下) |
樣品條件 | 溫度：25±3℃ |
顯示 | 濃度:小顯示值0.001%(在0-1%量程中) |
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